Автоматик температура һәм дым белән идарә итү
Чиста бүлмәнең температурасы һәм дымлылыгы, нигездә, процесс таләпләренә туры китереп билгеләнә, ләкин процесс таләпләре үтәлгән шартларда кеше уңайлыгын исәпкә алырга кирәк.Airава чисталыгы таләпләренең артуы белән, процесс температура һәм дымлылыкка катгый таләпләр куя торган тенденция бар.
Эшкәртү төгәллеге яхшыра барган саен, температураның үзгәрү диапазонына таләпләр кечерәя бара.Мәсәлән, зур масштаблы интеграль схема производствосының литографик экспозиция процессында, пыяла һәм кремний вафиның җылылык киңәю коэффициенты арасындагы аерма кечерәк һәм кечерәк булырга тиеш.Диаметры 100μм булган кремний вафат, температура 1 градуска күтәрелгәч, 0,24μм сызыклы киңәюгә китерәчәк.Шуңа күрә аның даими температурасы ± 0,1 градус булырга тиеш.Шул ук вакытта, дым бәясе, гадәттә, түбән булырга тиеш, чөнки кеше тирләгәннән соң, продукт пычраначак, аеруча натрийдан курыккан ярымүткәргеч остаханәләре өчен, мондый чиста остаханә 25 градустан артмаска тиеш.
Артык дым күбрәк проблемалар тудыра.Нисби дым 55% тан артканда, суыткыч су торбасы стенасында конденсация барлыкка киләчәк.Әгәр дә ул төгәл җайланмада яки схемада булса, ул төрле аварияләр китерәчәк.Нисби дым 50% булганда дат җиңел.Моннан тыш, дым артык булганда, кремний вафаты өслегендәге тузан химик яктан һавадагы су молекулалары белән өскә чыгарылачак, аны чыгару кыен.Чагыштырма дым никадәр югары булса, ябышуны бетерү авыррак, ләкин чагыштырмача дым 30% тан түбән булганда, кисәкчәләр шулай ук электростатик көч тәэсире аркасында һәм бик күп ярымүткәргеч аркасында җиңел үзләштерелә. җайланмалар ватылырга мөмкин.Кремний вафин җитештерү өчен иң яхшы температура диапазоны 35 ~ 45%.
